TaC Coating Guide Rings

باعتبارها شركة رائدة في تصنيع منتجات حلقات التوجيه المطلية بـ TaC في الصين، تعد حلقات التوجيه المطلية بـ TaC لأشباه الموصلات من VeTek مكونات مهمة في معدات MOCVD، مما يضمن توصيل الغاز بشكل دقيق ومستقر أثناء النمو الفوقي، وهي مادة لا غنى عنها في النمو الفوقي لأشباه الموصلات. مرحبا بكم في التشاور معنا.

إرسال استفسار

وصف المنتج

وظيفة حلقات دليل طلاء TaC:

التحكم الدقيق في تدفق الغاز: الحلقة دليل طلاء TaCيقع في موقع استراتيجي داخل نظام حقن الغاز فيمفاعل MOCVD. وتتمثل وظيفتها الأساسية في توجيه تدفق الغازات الأولية وضمان توزيعها الموحد عبر سطح رقاقة الركيزة. يعد هذا التحكم الدقيق في ديناميكيات تدفق الغاز أمرًا ضروريًا لتحقيق نمو موحد للطبقة الفوقية وخصائص المواد المطلوبة.

الإدارة الحرارية: غالبًا ما تعمل حلقات دليل طلاء TaC في درجات حرارة مرتفعة نظرًا لقربها من المستشعر الساخن والركيزة. تساعد الموصلية الحرارية الممتازة لـ TaC على تبديد الحرارة بشكل فعال، ومنع ارتفاع درجة الحرارة الموضعية والحفاظ على درجة حرارة ثابتة داخل منطقة التفاعل.

مزايا TaC في MOCVD:

مقاومة درجات الحرارة القصوى: يتميز TaC بواحدة من أعلى نقاط الانصهار بين جميع المواد، حيث تتجاوز 3800 درجة مئوية.

الخمول الكيميائي المتميز: يظهر TaC مقاومة استثنائية للتآكل والهجوم الكيميائي من الغازات الأولية التفاعلية المستخدمة في MOCVD، مثل الأمونيا والسيلان والمركبات المعدنية العضوية المختلفة.

الخصائص الفيزيائيةطلاء تاك:

الخصائص الفيزيائيةطلاء تاك
كثافة	14.3 (جم/سم3)
انبعاثية محددة	0.3
معامل التمدد الحراري	6.3*10^-6/ك
صلابة (هونج كونج)	2000 هونج كونج
مقاومة	1 × 10^-5أوم * سم
الاستقرار الحراري	<2500 درجة مئوية
يتغير حجم الجرافيت	-10~-20um
سمك الطلاء	≥20um القيمة النموذجية (35um±10um)

فوائد لأداء MOCVD:

يساهم استخدام حلقة دليل طلاء TaC لأشباه الموصلات VeTek في معدات MOCVD بشكل كبير في:

زيادة وقت تشغيل المعدات: تعمل المتانة والعمر الطويل للحلقة الدليلية للطلاء TaC على تقليل الحاجة إلى عمليات الاستبدال المتكررة، مما يقلل من وقت توقف الصيانة ويزيد من الكفاءة التشغيلية لنظام MOCVD.

تعزيز استقرار العملية: يساهم الاستقرار الحراري والخمول الكيميائي لـ TaC في بيئة تفاعل أكثر استقرارًا وتحكمًا داخل غرفة MOCVD، مما يقلل من اختلافات العملية ويحسن إمكانية التكاثر.

تحسين توحيد الطبقة الفوقي: التحكم الدقيق في تدفق الغاز الذي يتم تسهيله من خلال حلقات توجيه طلاء TaC لضمان التوزيع الموحد للسلائف، مما يؤدي إلى تجانس عالينمو الطبقة الفوقيمع سمك وتكوين ثابت.

طلاء كربيد التنتالوم (TaC).على مقطع عرضي مجهري:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1