VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في تصنيع مواد طلاء كربيد التنتالوم لصناعة أشباه الموصلات. تشمل عروض منتجاتنا الرئيسية أجزاء طلاء كربيد التنتالوم CVD، وأجزاء طلاء TaC الملبدة لنمو بلورات SiC أو عملية تنضيد أشباه الموصلات. لقد اجتازت شهادة ISO9001، تتمتع شركة VeTek Semiconductor بتحكم جيد في الجودة. شركة VeTek Semiconductor مكرسة لتصبح مبتكرًا في صناعة طلاء كربيد التنتالوم من خلال البحث المستمر وتطوير التقنيات التكرارية.
المنتجات الرئيسية هيحلقة دليل مطلية بـ TaC, حلقة توجيه ثلاثية البتلات مطلية بـ CVD TaC, كربيد التنتالوم TaC مطلي بنصف القمر, طلاء CVD TaC مستقبل الفوقي الكوكبي SiC, حلقة طلاء كربيد التنتالوم, كربيد التنتالوم المطلي بالجرافيت المسامي, TaC طلاء دوران Susceptor, حلقة كربيد التنتالوم, لوحة دوران طلاء TaC, TaC متقبل الرقاقة المغلفة, حلقة عاكسة مطلية بـ TaC, غطاء طلاء CVD TaC, ظرف مطلي بـ TaCوما إلى ذلك، النقاء أقل من 5 جزء في المليون، يمكن أن تلبي متطلبات العملاء.
يتم إنشاء الجرافيت المطلي بـ TaC عن طريق طلاء سطح ركيزة الجرافيت عالية النقاء بطبقة دقيقة من كربيد التنتالوم من خلال عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) الخاصة. وتظهر الميزة في الصورة أدناه:
لقد اكتسب طلاء كربيد التنتالوم (TaC) الاهتمام بسبب نقطة انصهاره العالية التي تصل إلى 3880 درجة مئوية، والقوة الميكانيكية الممتازة، والصلابة، ومقاومة الصدمات الحرارية، مما يجعله بديلاً جذابًا لعمليات تنضيد أشباه الموصلات المركبة ذات متطلبات درجات الحرارة الأعلى، مثل نظام Aixtron MOCVD وعملية LPE SiC epitaxy. كما أن لديها تطبيقًا واسعًا في عملية نمو بلورات SiC بطريقة PVT.
●استقرار درجة الحرارة
●درجة نقاء عالية جدًا
●مقاومة H2، NH3، SiH4، Si
●مقاومة المخزون الحراري
●التصاق قوي بالجرافيت
●تغطية طلاء مطابقة
● حجم يصل إلى 750 مم (الشركة المصنعة الوحيدة في الصين تصل إلى هذا الحجم)
● قابل للتسخين الاستقرائي
● عنصر تسخين مقاوم
● درع حراري
الخصائص الفيزيائية لطلاء TaC | |
كثافة | 14.3 (جم/سم3) |
انبعاثية محددة | 0.3 |
معامل التمدد الحراري | 6.3 10-6/ك |
صلابة (هونج كونج) | 2000 هونج كونج |
مقاومة | 1 × 10-5أوم * سم |
الاستقرار الحراري | <2500 درجة مئوية |
يتغير حجم الجرافيت | -10~-20um |
سمك الطلاء | ≥20um القيمة النموذجية (35um±10um) |
عنصر | النسبة الذرية | |||
نقطة. 1 | نقطة. 2 | نقطة. 3 | متوسط | |
سي ك | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
هم | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
حلقة التوجيه المطلية بـ TaC مصنوعة من الجرافيت عالي الجودة وطلاء TaC. في تحضير بلورات SiC بطريقة PVT، يتم استخدام حلقة التوجيه المطلية بـ TaC من VeTek Semiconductor بشكل أساسي لتوجيه تدفق الهواء والتحكم فيه، وتحسين عملية نمو البلورة الفردية، وتحسين إنتاجية البلورة الفردية. مع تكنولوجيا طلاء TaC الممتازة، تتمتع منتجاتنا بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية، ومقاومة للتآكل وخصائص ميكانيكية جيدة. نحن نرحب ترحيبًا حارًا بمشاورتك ونتطلع إلى تزويدك بمعلومات أكثر تفصيلاً عن المنتج والدعم الفني.
اقرأ أكثرإرسال استفسارVeTek Semiconductor هي شركة رائدة في تصنيع وتوريد قرص الدوران الكوكبي المطلي بكربيد التنتالوم في الصين، مع التركيز على تكنولوجيا طلاء TaC لسنوات عديدة. تتميز منتجاتنا بدرجة نقاء عالية ومقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية، وهي معترف بها على نطاق واسع من قبل الشركات المصنعة لأشباه الموصلات. لقد أصبح قرص الدوران الكوكبي المطلي بكربيد التنتالوم وأشباه الموصلات من VeTek العمود الفقري لصناعة الرقائق. ونحن نتطلع إلى إقامة شراكة طويلة الأمد معكم لتعزيز التقدم التكنولوجي وتحسين الإنتاج بشكل مشترك.
اقرأ أكثرإرسال استفسارقامت شركة VeTek Semiconductor بتصميم حامل رقاقة الجرافيت المطلي بـ TaC بعناية للعملاء. إنه يتكون من جرافيت عالي النقاء وطلاء TaC، وهو مناسب لمختلف عمليات معالجة الويفر الفوقي. لقد تخصصنا في طلاء SiC وTaC لسنوات عديدة. بالمقارنة مع طلاء SiC، فإن حامل رقاقة الجرافيت المطلي بـ TaC يتميز بمقاومة أعلى لدرجة الحرارة ومقاومة للتآكل. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفسار